Mikroelektromechanické systémy

Abstract

Cílem práce bylo seznámení s technologií označovanou jako Mikroelektromechanické systémy (MEMS). Možnosti jejího využţití a aplikace. Teoretická část pojednává o historii této technologie a dále se zaměřuje na nejpoužívanější technologické procesy a materiály používané pří výrobě. V této části jsou také obsaženy základní metody a principy používané pro průtokoměry a pro zařízení schopné chemické analýzy látek. V praktické části jsou popsány konkrétní produkty používané pří měření průtoku a pří rozboru chemických látek a dále je vypracován přehled výrobců využívajících pro své produkty technologii MEMS.