Superhydrofóbní povrchy na bázi křemíku, příprava a aplikace

Abstract

Práce se zabývá modifikací povrchu křemíkových waferů metodou anizotropního leptání. Cílem je získání povrchu s definovanou morfologií a z toho plynoucími hydrofobními vlastnostmi. Byl zjištěn zásadní vliv čistoty výchozího materiálu, čistoty použitých chemi-kálií a procesních podmínek na výslednou strukturu povrchu. Změny v morfologii byly sledovány pomocí SEM, AFM, optické mikroskopie a makrofotografie, kde pro kvantifika-ce morfologických změn se jako nejlepší metoda jeví AFM.