Zobrazování struktur elektronických systémů užitím skenovací mikrovlnné mikroskopie<br>

DSpace Repository

Language: English čeština

No preview available

Title:	Zobrazování struktur elektronických systémů užitím skenovací mikrovlnné mikroskopie<br>
Author:	Martínek, Tomáš
Advisor:	Navrátil, Milan
Abstract:	Tato diplomová práce se zabývá zobrazovacími metodami mikroskopie se skenující sondou a skenovacím systémem Agilent 5420 SPM/AFM od společnosti Agilent Technologies. Možnosti tohoto systému jsou zanalyzovány a demonstrovány na několika praktických aplikacích.
URI:	http://hdl.handle.net/10563/25429
Date:	2013-02-08
Availability:	Bez omezení
Department:	Ústav elektroniky a měření
Discipline:	Bezpečnostní technologie, systémy a management
Grade for thesis and defense:	A 31285