Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu
Zobrazit minimální záznam
dc.contributor.advisor |
Vašek, Vladimír
|
|
dc.contributor.author |
Johanidesová, Eva
|
|
dc.date.accessioned |
2013-10-14T10:54:08Z |
|
dc.date.available |
2013-10-14T10:54:08Z |
|
dc.date.issued |
2013-02-24 |
|
dc.identifier |
Elektronický archiv Knihovny UTB |
cs |
dc.identifier.uri |
http://hdl.handle.net/10563/25433
|
|
dc.description.abstract |
Diplomová práce popisuje AFM, SMM mikroskopii, jejich funkce a konkurenční mikroskopii SEM. V této práci jsou ukázky a analýzy křemíkových desek, které jsou dodány od firmy ON SEMICONDUCTOR. Tato práce se zabývá koncentracemi příměsi dopantů a porovnáním výsledků s konkurenčními metodami měření. |
cs |
dc.format |
57 |
cs |
dc.format.extent |
2706976 bytes |
cs |
dc.format.mimetype |
application/zip |
cs |
dc.language.iso |
cs |
|
dc.publisher |
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně |
|
dc.rights |
Bez omezení |
|
dc.subject |
AFM
|
cs |
dc.subject |
SMM
|
cs |
dc.subject |
P-N přechod
|
cs |
dc.subject |
křemíkové desky
|
cs |
dc.subject |
AFM
|
en |
dc.subject |
SMM
|
en |
dc.subject |
P-N junction
|
en |
dc.subject |
silicon wafer
|
en |
dc.title |
Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu |
cs |
dc.title.alternative |
An Analysis of Production Technology in the Semiconductor Industry<br> |
en |
dc.type |
diplomová práce |
cs |
dc.contributor.referee |
Špetík, Radim |
|
dc.date.accepted |
2013-06-25 |
|
dc.description.abstract-translated |
This Diploma thesis describes AFM, SMM microscopy, their function and competitive microscopy SEM. In this work are illustrations and analysis of silicon wafers, which are supplied by the company ON Semiconductor. This work deals with the dopant concentrations and compares the results with competing methods of measurement. |
en |
dc.description.department |
Ústav automatizace a řídicí techniky |
cs |
dc.description.result |
obhájeno |
cs |
dc.parent.uri |
http://hdl.handle.net/10563/91
|
cs |
dc.parent.uri |
http://hdl.handle.net/10563/220
|
cs |
dc.thesis.degree-discipline |
Automatické řízení a informatika |
cs |
dc.thesis.degree-discipline |
Automatic Control and Informatics |
en |
dc.thesis.degree-grantor |
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta aplikované informatiky |
cs |
dc.thesis.degree-grantor |
Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Applied Informatics |
en |
dc.thesis.degree-name |
Ing. |
cs |
dc.thesis.degree-program |
Inženýrská informatika |
cs |
dc.thesis.degree-program |
Engineering Informatics |
en |
dc.identifier.stag |
31588
|
|
utb.result.grade |
A |
|
dc.date.submitted |
2013-06-11 |
|
local.subject |
mikroskopie
|
cs |
local.subject |
microscopy
|
en |
Soubory tohoto záznamu
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
Zobrazit minimální záznam