Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Zobrazit minimální záznam
| dc.contributor.advisor |
Urbánek, Michal
|
|
| dc.contributor.author |
Navrátil, Jaroslav
|
|
| dc.date.accessioned |
2021-07-26T10:57:55Z |
|
| dc.date.available |
2021-07-26T10:57:55Z |
|
| dc.date.issued |
2020-02-03 |
|
| dc.identifier |
Elektronický archiv Knihovny UTB |
|
| dc.identifier.uri |
http://hdl.handle.net/10563/49042
|
|
| dc.description.abstract |
Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM). |
|
| dc.format |
56 |
|
| dc.language.iso |
cs |
|
| dc.publisher |
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně |
|
| dc.rights |
Bez omezení |
|
| dc.subject |
Elektronová litografie
|
cs |
| dc.subject |
polymerní rezist
|
cs |
| dc.subject |
proces vyvolání
|
cs |
| dc.subject |
kontrast rezistu
|
cs |
| dc.subject |
optická mikroskopie
|
cs |
| dc.subject |
mechanická profilometrie
|
cs |
| dc.subject |
AFM
|
cs |
| dc.subject |
Electron-beam lithography
|
en |
| dc.subject |
polymer resist
|
en |
| dc.subject |
process of resist development
|
en |
| dc.subject |
contrast of resist
|
en |
| dc.subject |
optical microscopy
|
en |
| dc.subject |
mechanical profilometry
|
en |
| dc.subject |
AFM
|
en |
| dc.title |
Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie |
|
| dc.title.alternative |
Application of Polymers for Electron Beam Lithography |
|
| dc.type |
bakalářská práce |
cs |
| dc.contributor.referee |
Minařík, Antonín |
|
| dc.date.accepted |
2020-06-11 |
|
| dc.description.abstract-translated |
This bachelor thesis is focusing on the technique of electron-beam lithography and preparation of structures in polymer resist PMMA using electron beam exposure. Attention is paid to the process of resist development and evaluation of structures using an optical microscope, a mechanical profilometer and an atomic force microscope (AFM). |
|
| dc.description.department |
Ústav fyziky a mater. inženýrství |
|
| dc.thesis.degree-discipline |
Materiálové inženýrství |
cs |
| dc.thesis.degree-discipline |
Materials Engineering |
en |
| dc.thesis.degree-grantor |
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická |
cs |
| dc.thesis.degree-grantor |
Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology |
en |
| dc.thesis.degree-name |
Bc. |
|
| dc.thesis.degree-program |
Chemie a technologie materiálů |
cs |
| dc.identifier.stag |
55935
|
|
| utb.result.grade |
A |
|
| dc.date.submitted |
2020-05-20 |
|
Soubory tohoto záznamu
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
Zobrazit minimální záznam
